미세 패턴 내에 증착된 리튬의 전착밀도 측정기술density measurement technology of lithium deposited in fine pattern
본 발명은 미세 패턴 내에 증착된 리튬의 전착밀도 측정기술에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 AFM(Atomic Force Microscopy) 영상화 시스템 준비 단계; 금속 전극에 전착된 리튬의 탄성계수를 맵핑하는 단계; 및 상기 맵핑을 통해 금속 전극에 전착된 리튬의 전착밀도를 계산하는 단계;를 포함하는, 리튬 전극 물성 측정방법에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-04-12
- Application Number
- 10-2019-0043168
- Registration Date
- 2021-03-03
- Registration Number
- 10-2225458-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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