미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치 및 방법

Abstract

본 발명은 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 광선을 이용한 비파괴 검사를 통해 미세 결함을 검사함에 있어서, 비파괴 검사 결과의 해상도를 유지하면서도 확대하여 관찰할 수 있는 비파괴 검사 방법 및 장치에 관한 것으로, 대상물에 광선을 투사하는 광원부, 적어도 일면이 상기 대상물과 접하고, 상기 대상물을 투과해 도달하는 상기 광선을 감지해 빛을 발생시키는 광감지부, 상기 광감지부에서 발생시킨 빛으로 상을 형성하는 광학부 및 상기 상을 이용해 결함 발생여부를 판단하는 결함디텍터를 포함하는 구성을 개시한다.