미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치 및 방법NONDESTRUCTIVE INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR MICRO DEFECT INSPECTION
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 조성오 | ko |
| dc.contributor.author | 김현남 | ko |
| dc.date.accessioned | 2020-08-05T23:55:15Z | - |
| dc.date.available | 2020-08-05T23:55:15Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/275719 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 광선을 이용한 비파괴 검사를 통해 미세 결함을 검사함에 있어서, 비파괴 검사 결과의 해상도를 유지하면서도 확대하여 관찰할 수 있는 비파괴 검사 방법 및 장치에 관한 것으로, 대상물에 광선을 투사하는 광원부, 적어도 일면이 상기 대상물과 접하고, 상기 대상물을 투과해 도달하는 상기 광선을 감지해 빛을 발생시키는 광감지부, 상기 광감지부에서 발생시킨 빛으로 상을 형성하는 광학부 및 상기 상을 이용해 결함 발생여부를 판단하는 결함디텍터를 포함하는 구성을 개시한다. | - |
| dc.title | 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치 및 방법 | - |
| dc.title.alternative | NONDESTRUCTIVE INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR MICRO DEFECT INSPECTION | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 조성오 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김현남 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0090773 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2142488-0000 | - |
| dc.date.application | 2018-08-03 | - |
| dc.date.registration | 2020-08-03 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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