단계적 구동이 가능한 정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체ELECTROSTATIC MULTIMORPH CANTILEVER STRUCTURE CAPABLE OF STEPWISE ACTUATION
정전구동식 멀티모프 캔틸레버 구조체는 전극; 및 상기 전극 상에 배치되고, 고정된 일단과 이동 가능한 자유단을 가지며 정전기력에 의해 구동되는 멀티모프 캔틸레버보(cantilever beam);를 포함하며, 상기 멀티모프 캔틸레버보는: 상기 전극과 상기 멀티모프 캔틸레버보 사이에 인가되는 전압의 크기에 따라, 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 제1값으로 유지되는 제1상태; 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 상기 제1값과 다른 제2값으로 유지되는 제2상태; 및 상기 전극에 대한 상기 자유단의 종단 높이가 상기 제1값과 상기 제2값 사이의 값으로 유지되는 중간 상태를 가진다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2016-08-19
- Application Number
- 10-2016-0105391
- Registration Date
- 2019-12-19
- Registration Number
- 10-2059347-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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