학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2019.2,[v, 44 p. :]
Oxide thin film transistor▼aAl-doped In-Sn-Zn-O▼aback channel etched structure; Cu diffusion barrier material▼amolybdenum-based alloy▼afluorine-free etchant▼aetching residue▼achannel surface dama; 산화물 박막 트랜지스터▼a알루미늄 도핑 인듐-주석-아연 산화물; 백채널 에치 구조; 구리 확산 방지 물질; 몰리브덴 합금▼a플루오린-프리 에천트▼a식각 잔여물▼a채널 표면 데미지
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