동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서 및 그 제조 방법과 상기 압력 센서를 이용한 다축 촉각 센서

Abstract

동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서 및 그 제조 방법이 제공된다. 상기 압력 센서는, 상면이 복수의 돌기 형상으로 형성된 기판; 상기 기판의 상면의 일측에 형성된 제1 전극; 상기 기판의 상면의 타측에 상기 제1 전극과 이격되어 형성된 제2 전극; 및 상기 기판의 상면에 형성되고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 공간을 채우고, 나노 파티클을 포함하는 유전물질층;을 포함하고, 상기 기판의 상면에 수직인 방향에서 가해지는 압력에 의해 상기 유전물질층의 유전율이 증가되고, 상기 유전율 증가에 따라 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 형성되는 정전용량 값의 증가를 감지하여 상기 압력의 크기를 센싱한다.