후속 열처리 및 Cu capping layer 구조에 따른 구리 배선의 계면 접착력 평가
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정민수 | ko |
| dc.contributor.author | 배병현 | ko |
| dc.contributor.author | 강희오 | ko |
| dc.contributor.author | 양준모 | ko |
| dc.contributor.author | 황욱중 | ko |
| dc.contributor.author | 서정민 | ko |
| dc.contributor.author | 김택수 | ko |
| dc.contributor.author | 박영배 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T15:35:19Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T15:35:19Z | - |
| dc.date.created | 2014-06-25 | - |
| dc.date.issued | 2014-04-24 | - |
| dc.identifier.citation | 2014 대한금속·재료학회 춘계학술발표대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/255122 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한금속·재료학회 | - |
| dc.title | 후속 열처리 및 Cu capping layer 구조에 따른 구리 배선의 계면 접착력 평가 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 2014 대한금속·재료학회 춘계학술발표대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.contributor.localauthor | 김택수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정민수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 배병현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강희오 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 양준모 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황욱중 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서정민 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박영배 | - |
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