회전 방식을 이용한 박막 코팅 방법 및 박막 코팅 장치(THE METHOD OF COATING A THIN FILM USING ROLLING SCHEME AND THE APPARATUS FOR COATING A THIN FILM USING THE SAME)THE METHOD OF COATING A THIN FILM USING ROLLING SCHEME AND THE APPARATUS FOR COATING A THIN FILM USING THE SAME
회전 방식을 이용한 박막 코팅 방법 및 박막 코팅 장치가 제공된다. 상기 박막 코팅 방법은, 액상 물질 상에 박막 물질을 플로팅(floating)하는 플로팅 단계, 원통형 기판을 상기 박막 물질에 접촉시킨 후, 상기 원통형 기판을 회전하는 회전 단계, 및 상기 원통형 기판의 표면과 상기 박막 물질 사이에 작용하는 인력(attraction force)을 이용하여 상기 박막 물질을 상기 원통형 기판의 표면 상에 코팅하는 코팅 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2017-07-25
- Application Date
- 2016-09-22
- Application Number
- 10-2016-0121417
- Registration Date
- 2017-07-25
- Registration Number
- 10-1763166-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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