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Development of VHF inductively coupled plasma source and study on the frequency effect of plasma parameters = VHF 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수들의 주파수 효과에 관한 연구link Jun, Hyun-su; 전현수; et al, 한국과학기술원, 2009 |
Studies of electron heating and transport in a low pressure Inductively coupled plasma = 저압 유도 결합 플라즈마에서의 전자 가열 수송 연구link Chung, Chin-Wook; 정진욱; et al, 한국과학기술원, 2001 |
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