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Design and development of an advanced cluster tool controller based on a high-level fieldbus = 고수준 필드버스 기반의 고수준 클러스터 툴 컨트롤러의 설계 및 개발link Lee, Jin-Hwan; 이진환; et al, 한국과학기술원, 2003 |
Feedback control of cluster tools with time constraints = 시간 제약을 가지는 클러스터 장비의 피드백 제어link Kim, Chulhan; 김철한; et al, 한국과학기술원, 2015 |
Optimal scheduling of dual-armed cluster tools with complex scheduling requirements by general robot task sequences = 일반적인 로봇 작업 순서를 고려한 복잡한 스케줄링 요구사항을 갖는 양팔 클러스터 장비의 최적 스케줄링에 관한 연구link Paek, Jin-Heum; 백진흠; et al, 한국과학기술원, 2008 |
Scheduling cluster tools for concurrent processing of multiple wafer types = 복수 웨이퍼 혼류생산을 위한 클러스터 장비 스케줄링link Lee, Jun-Ho; 이준호; et al, 한국과학기술원, 2013 |
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