학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과, 2015.2 ,[viii, 102 p. :]
cluster tool; timed event graph; feedback control; wafer delay; semiconductor manufacturing; 클러스터 장비; 시간을 갖는 이벤트 그래프; 피드백 컨트롤; 웨이퍼 지연; 반도체 제조
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