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Glue layer TiW sputtering 조건이 저압 화학 증착 방법에 의해 증착된 텅스텐 박막의 성질에 미치는 영향에 관한 연구 = A study on the effect of sputtering conditions of glue layer TiW on the properties of LPCVD-W filmslink 박진성; Park, Jin-Seong; 천성순; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1993 |
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