박막화 과정을 거친 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 크기 및 방향이 미치는 영향A Study on Effects of Size and Direction on Mechanical Properties of Thinning-processed Single Crystal Silicon Wafers
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이상민 | ko |
| dc.contributor.author | 김재한 | ko |
| dc.contributor.author | 김영석 | ko |
| dc.contributor.author | 김택수 | ko |
| dc.date.accessioned | 2018-01-30T04:57:01Z | - |
| dc.date.available | 2018-01-30T04:57:01Z | - |
| dc.date.created | 2017-12-13 | - |
| dc.date.issued | 2017-04-06 | - |
| dc.identifier.citation | 대한기계학회 재료 및 파괴 부문 2017년도 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/239358 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 박막화 과정을 거친 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 크기 및 방향이 미치는 영향 | - |
| dc.title.alternative | A Study on Effects of Size and Direction on Mechanical Properties of Thinning-processed Single Crystal Silicon Wafers | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 대한기계학회 재료 및 파괴 부문 2017년도 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주 KAL 호텔 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김택수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김영석 | - |
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