본 발명은 수평형 전계 방출 소자에 관한 것이며, 보다 상세하게는 실리콘의 오리엔테이션에 따른 비등방성 식각을 이용한 수평형 전계 방출소자 및 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 실리콘의 오리엔테이션에 따른 비등방성 식각을 이용한 전계 방출 소자의 제조방법은, 비등방성 식각을 이용한 수평형 전계 방출소자의 제조방법에 있어서, 실리콘 기판, 하부절연막, 실리콘 및 하드 마스크를 순차적으로 형성하는 단계, 하드 마스크를 소정의 폭을 갖도록 패터닝하고, 소정 두께의 실리콘의 오리엔테이션에 따른 비등방성 식각을 하는 단계, 하부 절연막의 식각을 통하여 실리콘을 하부 절연막과 분리시키는 단계 및 실리콘을 전극으로 사용하기 위하여 도핑하는 단계를 포함한다.