미세전자 및 광학소자제작에 유용한 규칙적인 양각 패턴의형성방법

Abstract

본 발명의 제 1측면에 따른 양각배열패턴의 형성방법은, 양각으로 패턴화된 마스터의 상면에 연성의 제1고분자를 적층시키고 경화처리하여 음각의 패턴을 형성하는 단계; 음각의 패턴이 형성된 제 1고분자층을 마스터로부터 분리하고 상기 패턴내에 소정의 제 1입자를 충진하는 단계; 패턴이 형성된 제 1고분자층의 상면에 점착성의 제 2고분자를 적층시켜 상기 제 1입자로 구성되는 양각의 패턴을 상기 제 2고분자층의 표면에 부착시키는 단계; 및 상기 제 2고분자층을 상기 제 1고분자층으로부터 분리하고 상기 제 2고분자층에 형성된 홈에 제 2입자를 충진하는 단계를 포함하는 양각배열패턴의 형성방법을 제공한다. 또한, 본 발명의 제 2측면에 따른 방법은, 양각으로 패턴화된 마스터의 상면에 연성의 고분자를 적층시키고 경화처리하여 음각의 패턴을 형성하는 단계; 음각의 패턴이 형성된 고분자층을 마스터로부터 분리하고 상기 패턴 내에 소정의 제1입자를 충진하는 단계; 상기 고분자층의 음각의 패턴이 형성된 면에 소정의 기판을 부착시키는 단계; 상기 고분자층을 식각하여 상기 기판상에 상기 제1입자로 구성되는 양각패턴을 형성하는 단계; 및 상기 기판상에 형성된 홈에 제2입자를 충진하는 단계를 포함하는 양각배열패턴의 형성방법을 제공한다.