실리콘 제조장치 및 실리콘 제조방법

Abstract

본 발명은 실리콘 제조장치 및 실리콘 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 실리콘 제조장치는, 챔버, 챔버의 내부에 설치되고, 실리콘 용융액을 담고 있는 도가니, 도가니의 외측에 설치되고, 도가니를 가열하는 히터, 챔버 내부의 상부 표면에 연결되는 지그와, 그 일면이 지그에 연결되고, 그 타면 상에 소정 간격으로 이격되어 그 하부 방향으로 돌출되도록 복수 개의 돌출부가 형성된 플레이트를 포함하는 그라파이트 플러그, 복수 개의 돌출부가 실리콘 용융액의 표면과 접촉되거나 실리콘 용융액의 표면으로부터 인상되도록 그라파이트 플러그를 상하로 이동시키는 이동부를 포함한다.