실리콘 제조장치 및 실리콘 제조방법APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SILICON
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 양민양 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T11:51:05Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T11:51:05Z | - |
| dc.date.issued | 2011-03-10 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/234856 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 실리콘 제조장치 및 실리콘 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 실리콘 제조장치는, 챔버, 챔버의 내부에 설치되고, 실리콘 용융액을 담고 있는 도가니, 도가니의 외측에 설치되고, 도가니를 가열하는 히터, 챔버 내부의 상부 표면에 연결되는 지그와, 그 일면이 지그에 연결되고, 그 타면 상에 소정 간격으로 이격되어 그 하부 방향으로 돌출되도록 복수 개의 돌출부가 형성된 플레이트를 포함하는 그라파이트 플러그, 복수 개의 돌출부가 실리콘 용융액의 표면과 접촉되거나 실리콘 용융액의 표면으로부터 인상되도록 그라파이트 플러그를 상하로 이동시키는 이동부를 포함한다. | - |
| dc.title | 실리콘 제조장치 및 실리콘 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SILICON | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 양민양 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2009-0084062 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1023022-0000 | - |
| dc.date.application | 2009-09-07 | - |
| dc.date.registration | 2011-03-10 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.