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곡면 반사층을 가지는 멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 나노종합기술원; 이종권; 오재섭; 박종철 |
광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터 나노종합기술원; 이종권; 김태현; 오재섭; 박종철; 김희연, 2019-07-12 |
광학 필터 및 광학 필터의 제조 방법 나노종합기술원; 이종권; 오재섭; 유동은; 심갑섭; 박종철 |
멤스 디바이스 및 그 제조방법 나노종합기술원; 오재섭; 강민호; 이완규; 임성규; 김영수; 황욱중, 2017-11-28 |
멤스 디바이스 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 강민호; 이완규, 2018-02-01 |
멤스 디바이스 패키지 나노종합기술원; 오재섭; 김광희; 이종권 |
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 홍대원; 나노종합기술원 |
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 |
볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 |
비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조 및 이를 포함하는 적외선 열화상 장치 나노팹; 이완규; 오재섭; 전호승, 2018-06-01 |
와이어 그리드 편광자 나노종합기술원; 이종권; 강일석; 박종철; 오재섭; 윤석오; 박재홍; et al |
플라즈마 식각장치 및 식각방법 김영수; 유중재; 오재섭; 나노종합기술원 |
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