전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서Biosensor using Field Effect Transistor
본 발명의 바이오 센서는 기판; 상기 기판 상에 채널을 사이에 두고 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인; 절연막을 통해 상기 채널과 절연된 부유 게이트와 제어 게이트; 및 상기 부유 게이트상에 형성된 바이오 물질층을 포함하고, 상기 부유 게이트와 상기 제어 게이트는 각각 상기 채널의 양측면 및 상면 상에 형성되고, 상기 바이오 물질층은 상기 채널의 일측으로 연장된 상기 부유 게이트상에 형성되어 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2013-10-14
- Application Date
- 2011-10-04
- Application Number
- 10-2011-0100584
- Registration Date
- 2013-10-14
- Registration Number
- 10-1320687-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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