멤즈 가변 캐패시터MEMS variable capacitor
본 발명은 멤즈 가변 캐패시터에 관한 것이다. 즉, 본 발명의 멤즈 가변 캐패시터는 제 1 전극과; 상기 제 1 전극 상부에 플로팅되어 있는 제 2 전극과; 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이의 간격을 조절하여, 캐패시턴스값을 가변시킬 수 있으며, 고정되어 있는 제 3 전극을 포함한다.
- Assignee
- 엘지이노텍 주식회사,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-01-03
- Application Date
- 2010-06-01
- Application Number
- 10-2010-0051958
- Registration Date
- 2012-01-03
- Registration Number
- 10-1104461-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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