유량 센서Flow sensor
본 발명은 유량 센서에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 전원이 공급될 필요가 없어 구조를 더욱 간단화하면서도 종래에 비하여 훨씬 저속의 미세 유량을 측정할 수 있도록 하는, 유량 센서를 제공함에 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-01-14
- Application Date
- 2013-12-19
- Application Number
- 10-2013-0158954
- Registration Date
- 2015-01-14
- Registration Number
- 10-1484540-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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