음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상측정장치

Abstract

본 발명은 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치에 관한 것으로, 광원으로부터 조사되는 백색광이 반사 및 투과되어 각각 기준면과 측정부로 분리 조사되도록 하기 위한 제 2빔스플리터와, 상기 제 2빔스플리터의 반사각에 대응하는 위치로 제 2빔스플리터 및 기준면의 사이에 설치되어 기준면에 대한 백색광의 조사를 선택적으로 차단하는 블록킹 플레이트를 포함하여 이루어지는 마이켈슨 간섭모듈과, 백색광의 차단여부에 따라 기준면으로부터 선택적으로 반사되는 백색광 및 상기 측정부로부터 반사되는 백색광의 진행방향에 설치되어 표면에 조사되는 백색광 중 일정 파장대역의 백색광을 선별하는 음향광학변조필터와, 광원, 제 2빔스플리터 및 음향광학변조필터 사이의 백색광 반사 및 투과가 순차적으로 이루어질 수 있도록 광원으로부터의 백색광 출사방향 및 제 2빔스플리터로부터의 백색광 출사방향에 대해 대응하여 설치되는 무편광 큐브 형태의 제 1빔스플리터 및 음향광학변조필터에 대해 순차적으로 설치되어 선별된 백색광이 조사되어 분광이미지로 결상되는 CCD센서를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.음향광학, 변조필터, AOTF, 광원, 두께정보, 형상정보, 백색광, 마이켈슨