미소간극 내 자기장을 이용한 탄소나노튜브 정렬방법과이를 이용한 탄소나노튜브 팁 제작방법A carbon nanometer tube aligning method using magneticfield in an microgap and a carbon nanometer tube tipmanufacturing method using thereof
본 발명은 미소간극 내 자기장을 이용한 탄소나노튜브 정렬방법과 이를 이용한 탄소나노튜브 팁 제작방법에 관한 것으로, 여자부가 대칭 배치된 규소기판을 준비하는 단계와, 상기 각 여자부의 사이로 미소간극을 갖도록 상기 규소기판 위에 금속재질의 마이크로 구조물을 대칭 증착하는 단계와, 상기 각 여자부 사이에 일방향으로 자기장을 형성하여 상기 마이크로 구조물을 자화시키는 단계와, 에탄올 내에서 초음파 분해된 탄소나노튜브를 상기 미소간극에 투여하여 상기 자기장의 형성방향을 따라 자화 배향시키는 단계 및 상기 에탄올이 증발될 때까지 건조하는 단계를 포함하고, 탄소나노튜브의 팁의 제작을 위해 정렬된 탄소나노튜브를 초미세탐침의 첨단에 부착시키는 단계와, 직류전압을 가해 고착화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 탄소나노튜브, 미소간극, 자기장, 규소기판, 초미세탐침, 정렬방법
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2006-03-15
- Application Date
- 2003-07-11
- Application Number
- 10-2003-0047314
- Registration Date
- 2006-03-15
- Registration Number
- 10-0563253-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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