기상 증착 장치VAPOR DEPOSITION APPARATUS
본 발명의 실시 형태에 따른 기상 증착 장치는, 기판이 배치된 챔버(chamber); 상기 챔버의 공정 온도를 조절하는 온도 조절부; 상기 기판 또는 무기막 상에 유기막을 증착시키는 유기막 증착부; 상기 기판 또는 유기막 상에 무기막을 증착시키는 무기막 증착부; 및 상기 챔버와 연결되고, 상기 챔버 내의 공정 압력을 조절하는 압력 조절부; 를 포함하고, 상기 유기막 및 상기 무기막이 하나의 상기 챔버 내에서 증착물의 이동, 진공 상태의 변화없이 다중 복합 유무기막을 형성시킨다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-10-20
- Application Date
- 2014-04-29
- Application Number
- 10-2014-0051826
- Registration Date
- 2015-10-20
- Registration Number
- 10-1563341-0000
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
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