기상 증착 장치VAPOR DEPOSITION APPARATUS
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 임성갑 | ko |
| dc.contributor.author | 김봉준 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T09:12:27Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T09:12:27Z | - |
| dc.date.issued | 2015-10-20 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/232193 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 실시 형태에 따른 기상 증착 장치는, 기판이 배치된 챔버(chamber); 상기 챔버의 공정 온도를 조절하는 온도 조절부; 상기 기판 또는 무기막 상에 유기막을 증착시키는 유기막 증착부; 상기 기판 또는 유기막 상에 무기막을 증착시키는 무기막 증착부; 및 상기 챔버와 연결되고, 상기 챔버 내의 공정 압력을 조절하는 압력 조절부; 를 포함하고, 상기 유기막 및 상기 무기막이 하나의 상기 챔버 내에서 증착물의 이동, 진공 상태의 변화없이 다중 복합 유무기막을 형성시킨다. | - |
| dc.title | 기상 증착 장치 | - |
| dc.title.alternative | VAPOR DEPOSITION APPARATUS | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 임성갑 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김봉준 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2014-0051826 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1563341-0000 | - |
| dc.date.application | 2014-04-29 | - |
| dc.date.registration | 2015-10-20 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.