수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법

Abstract

본 발명은, 수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법에 관한 것으로, 제1 기판 상에 웨이퍼 구조물을 형성하는 단계; 상기 웨이퍼 구조물을 절단하여 판형의 수직형 웨이퍼 구조물을 형성하는 단계; 및 상기 수직형 웨이퍼 구조물을 제2 기판의 평면 상으로 전사하는 단계; 를 포함하고, 상기 전사하는 단계에서 상기 수직형 웨이퍼 구조물은 상기 제2 기판의 평면 상으로 수평형 웨이퍼 구조물로 전사되는, 수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은, 기계적 안정성이 향상되고, 공정상의 오차 발생을 낮출 수 있다.