수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법METHOD FOR FABRICATING WAFER STRUCTURE HAVING LATERAL JUNCTION
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 조용훈 | ko |
| dc.contributor.author | 김세정 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T07:27:46Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T07:27:46Z | - |
| dc.date.issued | 2016-03-16 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/231413 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은, 수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법에 관한 것으로, 제1 기판 상에 웨이퍼 구조물을 형성하는 단계; 상기 웨이퍼 구조물을 절단하여 판형의 수직형 웨이퍼 구조물을 형성하는 단계; 및 상기 수직형 웨이퍼 구조물을 제2 기판의 평면 상으로 전사하는 단계; 를 포함하고, 상기 전사하는 단계에서 상기 수직형 웨이퍼 구조물은 상기 제2 기판의 평면 상으로 수평형 웨이퍼 구조물로 전사되는, 수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은, 기계적 안정성이 향상되고, 공정상의 오차 발생을 낮출 수 있다. | - |
| dc.title | 수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | METHOD FOR FABRICATING WAFER STRUCTURE HAVING LATERAL JUNCTION | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 조용훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김세정 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2015-0052990 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1605655-0000 | - |
| dc.date.application | 2015-04-15 | - |
| dc.date.registration | 2016-03-16 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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