혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형Method for manufacturing thin film comprising mixed block copolymer, method for manufacturing template comprising mixed block copolymer, and thin film and template mixed block copolymer
혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형이 제공된다. 본 발명에 따른 혼합 블록공중합체 박막 제조방법은 고분자량의 긴 사슬길이를 가지며 자기조립된 제 1 블록공중합체에, 상기 제 1 블록공중합체에 비하여 저분자량이며, 짧은 길이를 갖는 대칭성의 제 2 블록공중합체를 혼합하여 혼합액을 제조하는 단계; 상기 혼합액을 기판 상에 적층하여, 블록공중합체 박막을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 블록공중합체 박막을 열처리하여 자기조립하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-06-19
- Application Date
- 2012-06-11
- Application Number
- 10-2012-0061924
- Registration Date
- 2014-06-19
- Registration Number
- 10-1412228-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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