혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형Method for manufacturing thin film comprising mixed block copolymer, method for manufacturing template comprising mixed block copolymer, and thin film and template mixed block copolymer
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김상욱 | ko |
| dc.contributor.author | 신동옥 | ko |
| dc.contributor.author | 김봉훈 | ko |
| dc.contributor.author | 김주영 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T02:38:15Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T02:38:15Z | - |
| dc.date.issued | 2014-06-19 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/230789 | - |
| dc.description.abstract | 혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형이 제공된다. 본 발명에 따른 혼합 블록공중합체 박막 제조방법은 고분자량의 긴 사슬길이를 가지며 자기조립된 제 1 블록공중합체에, 상기 제 1 블록공중합체에 비하여 저분자량이며, 짧은 길이를 갖는 대칭성의 제 2 블록공중합체를 혼합하여 혼합액을 제조하는 단계; 상기 혼합액을 기판 상에 적층하여, 블록공중합체 박막을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 블록공중합체 박막을 열처리하여 자기조립하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.title | 혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형 | - |
| dc.title.alternative | Method for manufacturing thin film comprising mixed block copolymer, method for manufacturing template comprising mixed block copolymer, and thin film and template mixed block copolymer | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김상욱 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 신동옥 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김봉훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김주영 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2012-0061924 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1412228-0000 | - |
| dc.date.application | 2012-06-11 | - |
| dc.date.registration | 2014-06-19 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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