혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형Method for manufacturing thin film comprising mixed block copolymer, method for manufacturing template comprising mixed block copolymer, and thin film and template mixed block copolymer

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dc.contributor.author김상욱ko
dc.contributor.author신동옥ko
dc.contributor.author김봉훈ko
dc.contributor.author김주영ko
dc.date.accessioned2017-12-20T02:38:15Z-
dc.date.available2017-12-20T02:38:15Z-
dc.date.issued2014-06-19-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/230789-
dc.description.abstract혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형이 제공된다. 본 발명에 따른 혼합 블록공중합체 박막 제조방법은 고분자량의 긴 사슬길이를 가지며 자기조립된 제 1 블록공중합체에, 상기 제 1 블록공중합체에 비하여 저분자량이며, 짧은 길이를 갖는 대칭성의 제 2 블록공중합체를 혼합하여 혼합액을 제조하는 단계; 상기 혼합액을 기판 상에 적층하여, 블록공중합체 박막을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 블록공중합체 박막을 열처리하여 자기조립하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
dc.title혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형-
dc.title.alternativeMethod for manufacturing thin film comprising mixed block copolymer, method for manufacturing template comprising mixed block copolymer, and thin film and template mixed block copolymer-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor김상욱-
dc.contributor.nonIdAuthor신동옥-
dc.contributor.nonIdAuthor김봉훈-
dc.contributor.nonIdAuthor김주영-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2012-0061924-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1412228-0000-
dc.date.application2012-06-11-
dc.date.registration2014-06-19-
dc.publisher.countryKO-
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