내장형 커패시터용 폴리머/세라믹 복합 페이스트를 이용한커패시터 제조방법

Abstract

본 발명의 내장형 커패시터용 폴리머/세라믹 복합 페이스트를 이용한 커패시터 제조방법은 유기 기판상에 스크린 프린팅 방법으로 도포하여 180 ~ 200℃의 온도로 경화시켜 유전체층을 형성할 수 있는 내장형 커패시터용 폴리머/세라믹 복합 페이스트와 하부전극층이 증착된 유기 기판을 마련하는 단계와; 패터닝된 마스크를 이용하여 폴리머/세라믹 복합 페이스트를 하부전극층 상의 소정영역에 스크린 프린팅 방법으로 직접 도포하는 단계와; 도포된 폴리머/세라믹 복합 페이스트에 180 ~ 200℃의 온도로 가열하고 가압하여 폴리머/세라믹 복합 페이스트를 경화시키면서 평탄화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 폴리머/세라믹 복합 페이스트를 스크린 프린팅 방법으로 도포함으로써 원하는 부분에 국부적으로 20㎛ 이하의 두께를 갖는 폴리머/세라믹 복합 유전체층을 형성할 수 있으므로 원하지 않는 부분에 커패시터가 형성됨으로써 발생하는 전기적 기생성분을 줄일 수 있고, 경화시키면서 가압하여 평탄화된 유전체층을 얻을 수 있으므로 커패시턴스의 오차를 줄일 수 있다.