공중부유형 나노와이어 어레이 및 이의 제조 방법SUSPENDED TYPE NANOWIRE ARRAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

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본 발명은 공중부유형 나노와이어 어레이 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 2종의 나노와이어가 적층된 공중부유형 나노와이어를 포함하는 어레이와 이의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명의 실시 형태에 따른 공중부유형 나노와이어 어레이는, 기판; 상기 기판 상에 배치된 제1 전극; 상기 기판 상에 배치되고, 상기 제1 전극과 이격되어 배치된 제2 전극; 상기 제1 전극에 전기적으로 연결되어 고정된 일 단과 상기 기판 상에서 공중부유된 타단을 포함하는 제1 나노와이어, 상기 제1 나노와이어의 상면에 배치된 절연 부재, 및 상기 절연 부재의 상면에 배치된 제2 나노와이어를 포함하는 공중부유형 나노와이어; 및 상기 제2 전극으로부터 연장되고, 상기 제2 나노와이어 상에 배치된 연장 전극;을 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2015-06-23
Application Number
10-2015-0089155
Registration Date
2017-08-22
Registration Number
10-1772071-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/229268
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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