메모리 어레이의 구동방법

Abstract

본 발명은 마이크로 전자기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEMS)을 이용한 메모리 어레이 구동방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 메모리 어레이 구동방법은 기판 상에 서로 이격되어 형성된 주전극 및 접점전극, 주전극 과 전기적으로 절연되고, 전하가 기충전된 전하충전부 및 주전극, 전하충전부 및 접점전극 상부에 형성된 유동전극을 포함하는 메모리 셀이 복수 개 배열된 메모리 어레이의 구동방법에 있어서, 주전극에 전하충전부에 충전된 전압과 동일극성의 제1 구동전압을 인가하는 단계 및 유동전극에 제1 구동전압과 반대 극성의 제2 구동전압을 인가하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 메모리 어레이 구동방법은 기충전된 메모리 셀을 이용하여 낮은 구동전압에서 메모리 어레이를 동작시킬 수 있으며, 외부 노이즈에 대한 내구성 및 신뢰성이 향상된 연속동작이 가능하다. 마이크로 전자기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEMS), 구동기(Actuator), 정전 구동, 메모리, 스위치