기포가 없는 접착제층을 가지는 웨이퍼레벨 패키지 제조 방법Manufacturing method of wafer level package with void-free adhesive layer
본 발명은 범프가 형성된 웨이퍼상에 페이스트 또는 솔루션형 접착제를 도포하는 단계; 상기 도포된 페이스트 또는 솔루션형 접착제층위에 필름형 접착제를 도포하여 라미네이션하는 단계; 및 개별칩 단위로 다이싱하는 단계를 포함하는 웨이퍼레벨 패키지 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 웨이퍼레벨 패키지의 제조시 웨이퍼에 형성된 범프 주위에 발생하는 기포 형성의 문제를 해결할 수 있고, 표면굴곡에 의한 칩과 기판사이에 트랩되는 기포를 현저하게 줄일 수 있어, 플립칩 접합의 신뢰성 저하를 방지할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2007-09-20
- Application Date
- 2006-04-25
- Application Number
- 10-2006-0037232
- Registration Date
- 2007-09-20
- Registration Number
- 10-0759858-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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