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MEMS 멤브레인 구조체 및 그 제조방법 나노종합기술원; 이병주; 임부택 |
가스 센서 및 그 제조방법 나노종합기술원; 임부택; 김희연; 노길선; 심갑섭; 김경민; 박상현, 2018-11-28 |
고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법 임성규; 김영수; 김한흥; 임부택; 김태현; 김경태; 황욱중, 2014-06-11 |
나노몰드 및 그 제조방법 나노종합기술원; 이병주; 임부택; 배희경, 2019-05-03 |
다결정실리콘 승온소자 및 그 제조방법 나노종합기술원; 이병주; 임부택; 설우석, 2019-01-02 |
무선주파수 소자 및 그 제조방법 김한흥; 임부택; 이기성; 유동은; 이동욱; 강민호; 이병주 |
반도체 소자 및 그 제조방법 김한흥; 임부택; 김태호; 설우석; 배희경; 박종완; 이병주 |
반도체 소자 및 무선주파수 소자의 제조방법 이기성; 임부택; 유동은; 이동욱; 김한흥; 홍대원; 황욱증 |
반도체 패키지 및 그 제조방법 나노종합기술원; 임부택; 이병주, 2017-11-28 |
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