코플라나 전극 구조를 이용한 정전용량 형 고성능 유연 투명 촉각 센서

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Publisher
마이크로나노시스템학회
Issue Date
2017-03-31
Language
Korean
Citation

제19회 한국MEMS학술대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/223994
Appears in Collection
EE-Conference Papers(학술회의논문)
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