학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2016.8 ,[vi, 55 p. :]
aluminum (Al); plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD); nano-laminated structure; homogeneous film; amorphous oxide thin-film transistor (TFT); 알루미늄; 플라즈마 원자층 증착법; 나노 라미네이션 구조; 균일한 박막; 비정질 산화물 박막 트랜지스터
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