Parylene을 이용한 Membrane 형태의 수직투과형 IR 광변조기 제작 및 특성 평가
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박창영 | - |
| dc.contributor.author | 유장우 | - |
| dc.contributor.author | 윤희선 | - |
| dc.contributor.author | 조용철 | - |
| dc.contributor.author | 박용화 | - |
| dc.contributor.author | 나병훈 | - |
| dc.contributor.author | 이상훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2017-02-02T02:08:06Z | - |
| dc.date.available | 2017-02-02T02:08:06Z | - |
| dc.date.created | 2017-01-16 | - |
| dc.date.issued | 2014-04-05 | - |
| dc.identifier.citation | 한국 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/220362 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국 MEMS | - |
| dc.title | Parylene을 이용한 Membrane 형태의 수직투과형 IR 광변조기 제작 및 특성 평가 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | KAL 호텔, 제주 | - |
| dc.contributor.localauthor | 박용화 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박창영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 유장우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 윤희선 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 조용철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 나병훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이상훈 | - |
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