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| 가드링을 통과하는 저잡음 관통실리콘비아를 갖는 반도체칩 및 그를 이용한 적층 패키지 이준호; 이형동; 김현석; 김정호; 박현정, 2014-04-24 |
| 반도체 소자의 제조방법 최양규; 정성웅; 이현진; 이유준, 2010-04-20 |
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