Browse "School of Electrical Engineering(전기및전자공학부)" by Subject 원자층 증착 방법▼a니켈▼a니켈-저마나이드▼a일함수▼a접촉 비저항▼a쇼트키 장벽▼a로직 소자▼a메모리 소자
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| Atomic layer deposition of nickel and nickel germanide for next generation 3D devices = 차세대 3D 반도체 소자 적용을 위한 니켈의 원자층 증착 방법 공정 개발 및 니켈-저마나이드 형성link Ahn, Hyun Jun; Cho, Byung Jin; et al, 한국과학기술원, 2020 |
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- 573 OA Article
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