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Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Author Kang, Sang-Won

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Showing results 118 to 126 of 126

118
급속열산화법을 이용한 게이트용 산화막 성장기구에 관한 연구 = Kinetics of rapid thermal oxidation of siliconlink

심규찬; Shim, Kew-Chan; et al, 한국과학기술원, 1996

119
분할 화학증착방법으로 증착된 알루미늄 박막의 선택성 및 표면 morphology 개선에 관한 연구 = A study on the improvement of the selectivity and surface morphology of al thin film by cycle chemical vapor depositionlink

안상덕; Ahn, Seong-Deok; 강상원; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000

120
산화-환원 ALD 증착법에 의해 형성된 Nickel 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the nickel thin films formed by oxidation-reduction ALDlink

채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 2002

121
스위치 소자용 열구동형 다결정 실리콘 마이크로브릿지의 열적 구동특성 연구 = A study on the actuations characteristics of thermally-driven polycrystalline silicon microbridge for switching device applicationslink

이재열; Lee, Jae-Youl; et al, 한국과학기술원, 1999

122
왕겨로 부터 Si3N4형성에 관한 속도론적 연구 = The kinetics of silicon nitride formation from korean rice hullslink

강상원; Kang, Sang-Won; et al, 한국과학기술원, 1978

123
원자층 단위 증착법으로 증착된 TiN 증착기구에 대한 모델 연구 = A study of the deposition model about ALD (atomic layer deposition) TiN methodlink

박진성; Park, Jin-Seong; et al, 한국과학기술원, 1999

124
질소 도핑된 반응소결 탄화규소 히터의 특성 = The properties of nitrogen-doped SiC heater prepared by reaction sinteringlink

전영삼; Jeon, Young-Sam; et al, 한국과학기술원, 2008

125
테스트 패턴을 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수 측정에 관한 연구 = Measurement of thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon thin film by micro test patternslink

채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 1997

126
화학적 기계적 연마의 광학적 End-point detection 알고리즘에 관한 연구 = A study on the algorithm of optical end-point dectection for chemical mechanical polishinglink

노용주; Roh, Yong-Ju; et al, 한국과학기술원, 1998

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