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TiN Barrier Layer 위에 금속유기화학증착법에 의해 제조된 구리박막의 증착특성에 관한 연구 이원종; 윤수식; 이성권; 민재식; 천성순, 한국재료학회 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1993-11 |
고순도 Al-Zn-Mg-Cu계 합금의 퇴화 및 재 시효거동에 미치는 Zn의 영향 = The effect of zinc on the retrogression and reaging behavior of high purity Al-Zn-Mg-Culink 이성권; Lee, Sung-Gwon; et al, 한국과학기술원, 1989 |
염소계 플라즈마를 이용한 구리박막의 건식 식각기구에 관한 연구 = A study on the dry etching mechanism of copper film in chlorine-based plasmalink 이성권; Lee, Sung-Kwon; et al, 한국과학기술원, 1997 |
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