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HF 세정후 자연 산화막의 존재가 티타늄 실리사이드 형성에 미치는 영향 배종욱; 현영철; 유현규; 이정용; 남기수, 한국재료학회지, v.8, no.5, pp.464 - 469, 1998-12 |
TiSi2와 다결정 실리콘에 이온주입된 As계에서 TiAs침전물형성에 관한 고분해능 TEM 연구 박형호; 이정용; 조경익; 이중환; 권오준; 남기수, 전자공학회논문지, v.28, no.5, pp.375 - 379, 1991-12 |
다결정 규소 미세구조체의 Adhesion 현상연구 강상원; 박경호; 안근영; 남기수, 한국센서학회 센서기술 학술대회, pp.299 - 303, 1993 |
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성 남기수; 노태문; 조덕호; 이정용; 장진, 전자공학회논문지, v.28, no.3, pp.78 - 80, 1991-12 |
저압화학증착된 혼합상 실리콘 박막의 형성기구에 관한 투과전자현미경 연구 김진혁; 이정용; 이승창; 남기수, 대한금속·재료학회지, v.33, no.6, pp.730 - 736, 1995-12 |
트렌티 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향 이주욱; 김상기; 김종대; 구진근; 이정용; 남기수, 한국재료학회지, v.8, no.7, pp.634 - 640, 1998-12 |
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