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3차원 증착형상 예측을 위한 Computer Simulation 이원종; 권의희, 한국재료학회 춘계학술발표대회, pp.0 - 0, 2000-05-01 |
LPCVD 공정의 3차원 증착형상 예측을 위한 전산모사 = Simulation for the 3-D deposition topography of LPCVD processlink 권의희; Kwon, Ui-Hui; et al, 한국과학기술원, 2000 |
Magnetron sputtering system에서의 타겟효율성 향상에 관한 연구 이원종; 서태원; 권의희; 박용호, 한국반도체장비학회, 2003-12-12 |
대면적 평면 마그네트론 스퍼터링 시스템의 플라즈마 발생 및 박막증착에 관한 수치적 연구 = A computational study on plasma generation and film deposition in a large-area planar magnetron sputtering systemlink 권의희; Kwon, Ui-Hui; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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