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(A) study on the characteristics on TiN films deposited by PEALD using $TiCl_4$ = PEALD법으로 증착된 TiN 박막 특성에 관한 연구link Kwon, Jung-Dae; 권정대; et al, 한국과학기술원, 2002 |
Characterization of $TiO_2$ thin films formed by plasma enhanced atomic layer deposition = PEALD법을 이용한 $TiO_2$ 박막 증착 및 특성에 관한 연구link Park, Pan-Kwi; 박판귀; et al, 한국과학기술원, 2002 |
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