DSpace at KOASAS
Browsing DSpace

Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Subject 원자층증착법

A to Z

All 0-9

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

or enter first few letters:

Showing results 1 to 7 of 7

1
(A) study on $SrTiO_3$ thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition for DRAM capacitor dielectric = PEALD법으로 증착된 DRAM capacitor 유전체용 $SrTiO_3$ 박막의 특성에 관한 연구link

Ahn, Ji-Hoon; 안지훈; et al, 한국과학기술원, 2009

2
(A) study on the $La_2O_3$ and La-Al-O films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition = PEALD 법을 이용한 $La_2O_3$ 및 La-Al-O 박막의 Gate 절연체 특성에 관한 연구link

Kim, Ji-Hye; 김지혜; et al, 한국과학기술원, 2009

3
(A) study on the ald modeling for process design of multi-component thin films = 다성분계박막 공정설계를 위한 원자층증착법 모델링에 대한 연구link

Chung, Hoi-Sung; 정회성; et al, 한국과학기술원, 2008

4
(A) study on the atomic layer deposition of Ir and $IrO_2$ thin films = Iridium과 Iridium Oxide 박막의 ALD 증착 및 특성에 관한 연구link

Kim, Sung-Wook; 김성욱; et al, 한국과학기술원, 2007

5
(A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link

Kim, Jin-Hyock; 김진혁; et al, 한국과학기술원, 2005

6
Transmission electron microscopy study of $ZnO/Al_{2}O_{3}$ based thin film transistor grown by atomic layer deposition method = ALD 방법으로 증착된 $ZnO/Al_{2}O_{3}$ 기반 박막형 트랜지스터의 투과전자현미경 연구link

Jang, Yong-Woon; 장용운; et al, 한국과학기술원, 2011

7
원자층증착법으로 제조한 Zn1-xMgxO 박막을 버퍼층으로 이용한 Cd-free CIGS 태양전지의 성능 향상에 관한 연구 = Performance improvement of Cd-free CIGS solar cells using Zn1-xMgxO buffer layers deposited by atomic layer depositionlink

이창수; Lee, Chang-Soo; et al, 한국과학기술원, 2013

Discover

rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0