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Hot-Wire CVD 방법을 이용한 (100) Si과 다결정 Si 씨앗층에서의 저온 에피택셜 Si 성장에 관한 연구 = low-temperature growth of epitaxial Si on (100) Si and poly-Si seed layer using hot-wire CVDlink 이승렬; Lee, Seung-Ryul; et al, 한국과학기술원, 2008 |
기상유도결정화법 및 Hot-wire CVD 방법을 이용한 대결정립 다결정 Si 박막 성장에 관한 연구 = Growth of large-grained poly-Si film using vapor-induced crystallization and hot-wire CVDlink 강승모; Kang, Seung-Mo; et al, 한국과학기술원, 2012 |
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