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(A) study on the effects of the dry etching process on electrical characteristics of thin-film transistor in oxide thin-film transistor for the high resolution display = 고해상도 디스플레이용 산화물 박막트랜지스터에서 건식 식각 공정이 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향에 대한 연구link Choe, Joon Yong; Park, Sang-Hee; et al, 한국과학기술원, 2017 |
구리 박막과 반응성 플라즈마의 건식 식각반응 특성에 관한 연구 = A study on the characteristics of dry etch reactions between Cu thin film and reactive plasmaslink 권명석; Kwon, Myoung-Seok; et al, 한국과학기술원, 1999 |
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