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ALD-TiN을 이용한 MOCVD Al박막의 표면 거칠기 개선에 관한 연구 = A study on the surface morphology improvement of MOCVD Al film using ALD-TiNlink 이현배; Lee, Hyun-Bae; et al, 한국과학기술원, 1999 |
Kinetic model for cavity filling in CECVD of copper = 촉매 처리에 의한 구리 CECVD의 cavity filling 현상에 관한 모델link Lee, Hyun-Bae; 이현배; et al, 한국과학기술원, 2005 |
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