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$SiO2위에 증착된 Si1-xGex합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구 김홍승; 이정용; 이승창; 강상원, 한국재료학회지, v.4, no.4, pp.416 - 427, 1994-12 |
저압화학증착된 혼합상 실리콘 박막의 형성기구에 관한 투과전자현미경 연구 김진혁; 이정용; 이승창; 남기수, 대한금속·재료학회지, v.33, no.6, pp.730 - 736, 1995-12 |
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