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Attenuated phase shifting mask용 $CrF_x$ Film의 특성 분석 및 모사 연구 = Characterization and simulation study of $CrF_x$ films for attenuated phase shifting masklink 김은아; Kim, Eun-Ah; et al, 한국과학기술원, 1997 |
CrF 광학박막의 제조 및 특성 평가 노광수; 김은아; 배병수; 고영범; 우상균; 임성출; Jiang, Zhong-Tao; et al, 한국요업학회 춘계학술발표대회, 한국요업학회, 1996-01-01 |
CrFx 변조 위상변위마스크의 모사연구 노광수; 김은아; 고영범; 우상균; 임성출; 배병수; 장종도; et al, 광학 및 양자전자 학술 발표회, 1996-01-01 |
DC Magnetron Sputter로 제조한 CrFx 박막의 열화 현상 연구 노광수; 김은아; 홍승범; Jiang, Zhong-Tao, 한국요업학회 추계학술발표, 한국요업학회, 1996-01-01 |
Domain Swtching시의 domain의 핵생성 및 성장에 관한 연구 노광수; 홍승범; 김은아; Colla, EL; Setter, N, 한국요업학회 춘계학술발표대회, pp.66 - 66, 한국요업학회, 1998-01-01 |
ECR-PEMOCVD법으로 증착한 SrTiO3 박막에 Ar carrier gas의 flow rate가 미치는 영향 노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 추계학술발표대회, 한국요업학회, 1999-01-01 |
ECR-PEMOCVD법을 이용한 ST thin film 증착시 Ti single source의 제어 노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 춘계학술발표, 한국요업학회, 1999-01-01 |
Fabrication and Characterization of BaxSr1-xTiO3/YBa2Cu3Ox/STO Structure 노광수; 최종완; 김은아; 박순연; 김유진, 한국요업학회 춘계학술발표대회, 한국요업학회, 1999-01-01 |
광리소그래피 위상변위마스크용 Cr-Al-O-N 박막의 개발 = Development of chromium aluminum oxynitride films as a phase shifting mask material for optical lithographylink 김은아; Kim, Eun-Ah; et al, 한국과학기술원, 2001 |
메쉬 삽입이 박막 질에 미치는 영향 노광수; 김은아; 김대원; 최종완; 홍승범, 한국요업학회 추계학술발표회, 한국요업학회, 1997-01-01 |
박막의 결정성과 양자역학적인 상수간의 관계에 대한 연구 노광수; 홍승범; 배병수; 고영범; Jiang, ZT; 우상균; 임성출; et al, 한국재료학회 춘계학술발표대회, 한국재료학회, 1996-01-01 |
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